Ventajas del cátodo para sputtering de carbono
Sus formas habituales incluyen estructuras circulares, rectangulares o irregulares a medida, y sus ventajas destacan especialmente en el proceso de revestimiento.
Excelente estabilidad química
Es menos probable que reaccione con otros elementos en condiciones de alto vacío y bombardeo de partículas de alta energía. De este modo se garantiza la pureza de la composición del revestimiento.
Hivel de sputtering altamente controlable
El grosor de la película de carbono puede controlarse con precisión ajustando los parámetros del proceso para satisfacer los distintos requisitos de grosor.
Wadaptabilidad ide
Se puede combinar con diversos sustratos como silicio y metales para formar películas de carbono. Las películas de carbono tienen características como alta dureza, bajo coeficiente de fricción o excelente conductividad.
Amplia gama de capacidades de control de la pureza
Puede preparar materiales diana que van desde la alta pureza (superior a 99,99%) hasta tipos dopados según sus necesidades, y ajustar con flexibilidad el rendimiento de la película de carbono.
Vida útil estable
En condiciones de uso estándar, la pérdida de material objetivo es uniforme, lo que garantiza la consistencia de la producción de revestimiento por lotes.
Usos del cátodo para sputtering de carbono
Campo de los semiconductores electrónicos
Recubrimiento de la capa de interconexión de chips
Puede utilizar películas de carbono formadas por cátodos para sputtering de carbono de gran pureza como barreras de difusión o capas conductoras. Su uso para las capas de interconexión metálica en chips puede mejorar la conductividad y la estabilidad de los chips.
Preparación del electrodo sensor
Se puede utilizar en las superficies de sensores de gas y biosensores para formar sensores de alta sensibilidad. electrodosgarantizando la precisión de detección de los sensores.
Campo óptico
Revestimientos antirreflejos/antirrefractivos de las lentes ópticas
El uso de películas de carbono formadas por cátodos de pulverización catódica de carbono permite ajustar la reflectividad y transmitancia ópticas de las lentes. Es adecuado para componentes ópticos como lentes de cámaras y lentes láser.
Revestimiento infrarrojo para ventanas
Se puede utilizar en la superficie de las ventanas de los equipos de detección por infrarrojos. Puede mejorar la resistencia al desgaste y el rendimiento de transmisión de infrarrojos de las ventanas.
Fabricación mecánica
Recubrimiento de herramientas de precisión
Puede utilizar películas de DLC formadas por pulverización catódica con cátodos de carbono tipo diamante para recubrir las superficies de herramientas de aleación dura. Puede mejorar significativamente la dureza y la resistencia al desgaste de las herramientas y prolongar su vida útil.
Refuerzo de la superficie del molde
Puede depositar revestimientos en las superficies de moldes de estampación y moldes de inyección para reducir el desgaste. Reduce el coeficiente de fricción entre los moldes y las piezas de trabajo, y mejora la eficiencia de producción de los moldes.
Nuevo campo de energía
Recubrimiento de placas bipolares de pilas de combustible
Su uso en las superficies de las placas bipolares metálicas puede mejorar la resistencia a la corrosión y la conductividad de las placas bipolares. Así se mejora la eficiencia de generación de energía y la vida útil de las pilas de combustible.
Modificación de electrodos de baterías de litio
También se puede utilizar en las superficies de los materiales de los electrodos positivos o negativos de las baterías de litio. Mejora la conductividad electrónica de los electrodos, aumentando la eficacia de carga y descarga y la vida útil de las baterías.