Bandeja de grafito

Ventajas de la bandeja de grafito

Resistente a altas temperaturas

Puede soportar temperaturas superiores a 2800℃ en un entorno inerte, lo que le permite adaptarse a entornos de procesamiento a temperaturas extremadamente altas.

Resistente al choque térmico

Tiene un coeficiente de dilatación térmica extremadamente bajo, por lo que es improbable que se agriete o deforme en entornos de enfriamiento y calentamiento bruscos.

Bien estabilidad química

Resistente a ácidos, álcalis y gases corrosivos, no reacciona con la carga y no presenta contaminación por impurezas.

Conducción uniforme del calor

Gracias a su elevada conductividad térmica y a su conducción uniforme, puede garantizar un calentamiento uniforme de la pieza.

Ligero y robusto

Su densidad es de sólo 2,2 g/cm³, y su resistencia a la presión es superior a 80 MPa, por lo que tiene una gran capacidad de carga.

Además, en función de sus requisitos específicos, puede transformarse en el tamaño y la forma que necesite. Normalmente, la bandeja de grafito tiene diversas formas, como plana, acanalada o perforada.

Usos de la bandeja de grafito

Fabricación de semiconductores

Se puede utilizar como soporte de sustratos en equipos de deposición química en fase vapor de metales orgánicos (MOCVD). Puede realizar la deposición epitaxial en condiciones de alta temperatura y alto vacío y evitar la contaminación por impurezas, garantizando la calidad de la capa epitaxial. Y puede funcionar de forma estable a altas temperaturas (normalmente por encima de 1000℃) sin deformaciones ni daños.

Crecimiento de monocristales

En el monocristal horno, puede colocarlo debajo del crisol de grafito para garantizar la estabilidad del crisol. Gracias a su excelente resistencia a la corrosión de metales fundidos y gases químicos, puede utilizarse durante mucho tiempo. Conduce el calor uniformemente, garantizando una distribución uniforme de la temperatura dentro del crisol y facilitando el crecimiento de monocristales de alta calidad.

Industria química

También se puede utilizar en reactores de alta temperatura para soportar y proteger los reactantes, mejorando la eficacia de la reacción. Puede evitar que los reactivos entren en contacto directo con el reactor y provoquen reacciones adversas. Y debido a la excelente resistencia a la corrosión de una variedad de sustancias químicas, es adecuado para diversas reacciones químicas.

Fabricación de LED

En el proceso de fabricación de obleas epitaxiales de LED, se puede utilizar una bandeja de grafito para soportar los sustratos de las obleas. Durante el proceso de deposición epitaxial a alta temperatura, se emplea para soportar los sustratos de oblea, garantizando una temperatura uniforme en la superficie del sustrato. Además, puede soportar el peso de los sustratos de las obleas y la tensión mecánica durante el proceso. Mientras tanto, con la superficie lisa y químicamente estable del grafito, no reacciona con los componentes. De este modo, se protege eficazmente la estructura precisa y la calidad de la superficie de los componentes.