Grafit Tepsi

Grafit tepsinin avantajları

Yüksek sıcaklığa dayanıklı

İnert bir ortamda 2800°C'nin üzerindeki sıcaklıklara dayanabilir, bu da son derece yüksek sıcaklıktaki işleme ortamlarına uyum sağlayabilir.

Termal şoka karşı dayanıklı

Son derece düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir, ani soğutma ve ısıtma ortamlarında çatlama veya deforme olma olasılığı düşüktür.

İyi kimyasal kararlılık

Asitlere, alkalilere ve aşındırıcı gazlara karşı dayanıklıdır, yük ile reaksiyona girmez ve kirlilik kirliliği yoktur.

Düzgün ısı iletimi

Yüksek ısı iletkenliği ve düzgün iletim sayesinde, iş parçasının tutarlı bir şekilde ısıtılmasını sağlayabilir.

Hafif ve sağlam

Yoğunluğu sadece 2,2 g/cm³'tür ve anti-basınç mukavemeti 80MPa'nın üzerindedir, bu nedenle güçlü yük taşıma kapasitesine sahiptir.

Ayrıca, özel gereksinimlerinize göre, ihtiyacınız olan boyut ve şekilde işlenebilir. Genellikle grafit tepsi düz, oluklu veya delikli gibi çeşitli şekillere sahiptir.

Grafit tepsinin kullanım alanları

Yarı İletken Üretimi

Metal organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) ekipmanındaki substratları desteklemek için kullanabilirsiniz. Yüksek sıcaklık ve yüksek vakum koşulları altında epitaksiyel biriktirme gerçekleştirebilir ve safsızlık kontaminasyonunu önleyerek epitaksiyel tabakanın kalitesini garanti eder. Ve deformasyon veya hasar olmadan yüksek sıcaklıklarda (genellikle 1000 ℃'nin üzerinde) kararlı bir şekilde çalışabilir.

Tek kristal büyümesi

Tek kristalde Fırın, altına yerleştirebilirsiniz. grafit pota potanın sabit kalmasını sağlamak için. Erimiş metallere ve kimyasal gazlara karşı mükemmel korozyon direnci sayesinde uzun süre kullanılabilir. Isıyı eşit şekilde ileterek pota içinde eşit bir sıcaklık dağılımı sağlar ve yüksek kaliteli tek kristallerin büyümesini kolaylaştırır.

Kimya Endüstrisi

Reaktanları desteklemek ve korumak, reaksiyon verimliliğini artırmak için yüksek sıcaklık reaktörlerinde de kullanabilirsiniz. Reaktanların reaktörle doğrudan temas etmesini ve olumsuz reaksiyonlara neden olmasını önleyebilir. Ve çeşitli kimyasal maddelere karşı mükemmel korozyon direnci nedeniyle, çeşitli kimyasal reaksiyonlar için uygundur.

LED Üretimi

LED epitaksiyel gofret üretim sürecinde, gofret alt tabakalarını desteklemek için grafit tepsi kullanabilirsiniz. Yüksek sıcaklıkta epitaksiyel biriktirme işlemi sırasında, gofret alt tabakalarını taşımak için kullanılır ve alt tabaka yüzeyinde eşit sıcaklık sağlar. Ayrıca, işlem sırasında yonga plakası alt tabakalarının ağırlığına ve mekanik gerilime de dayanabilir. Bu arada, grafitin pürüzsüz ve kimyasal olarak kararlı yüzeyi ile bileşenlerle reaksiyona girmez. Böylece bileşenlerin hassas yapısını ve yüzey kalitesini etkili bir şekilde korur.