Grafit suseptörün avantajları
Grafit suseptör genellikle disk şeklinde, blok şeklinde veya özelleştirilmiş düzensiz yapılar şeklindedir ve avantajları çok belirgindir.
Üstün yüksek sıcaklık direnci
1500°C'nin üzerindeki ultra yüksek sıcaklık ortamında deformasyon veya performans düşüşü olmadan yapısal stabiliteyi koruyabilir.
Mükemmel elektromanyetik indüksiyon özellikleri
Radyo frekansı veya mikrodalga enerjisini hızla emebilir ve termal enerjiye dönüştürerek verimli ve homojen bir ısıtma sağlayabilir.
Yüksek mekanik dayanım
Nispeten büyük yük basıncına ve termal strese dayanabilir.
Son derece kararlı kimyasal özellikler
Çoğu aşındırıcı gaza ve kimyasal reaktiflere karşı iyi bir dirence sahiptir.
Yüksek ısı iletim verimliliği
Hızlı bir şekilde aktarabilir ısıBu da işlem sırasında sıcaklık tutarlılığı sağlar.
Mekanik olarak işlenmesi ve yüzey işlemesi kolaydır
Farklı proses gereksinimlerine göre boyut ve şekil olarak özelleştirebilirsiniz.
Grafit suseptörün kullanım alanları
Yarı iletken üretim alanı
Kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) çip üretiminde, gofret için çekirdek taşıyıcı platform olarak kullanabilirsiniz. Olağanüstü yüksek termal iletkenliği sayesinde, yonga plakası yüzey sıcaklığının milisaniyeler içinde eşit bir şekilde dağılmasını sağlayabilir. Böylece ince film birikiminin tutarlılığını sağlar. Ve yüksek kimyasal kararlılığı, aşındırıcı gazların ve safsızlıkların istilasına etkili bir şekilde direnebilir. Bu, çiplerin kusur oranını önemli ölçüde azaltır ve çip üretiminin verim oranını ve elektrik performansını büyük ölçüde artırır.
Kristal büyüme alanı
Grafit suseptör ayrıca safir ve silisyum karbür gibi üst düzey kristallerin büyüme sürecinde de önemli bir rol oynamaktadır. Sadece kristaller için istikrarlı bir destek sağlamakla kalmaz, aynı zamanda hassas termal alan kontrol teknolojisi sayesinde tek tip ve istikrarlı bir sıcaklık ortamı yaratır. Bu kontrol edilebilir büyüme koşulu, dislokasyon ve safsızlık kusurlarını etkili bir şekilde azaltan büyüme oranını, kristal yönelimini ve kristalin iç yapısını hassas bir şekilde kontrol edebilir. Bunlar, onu büyük boyutlu ve yüksek kaliteli tek kristal malzemeler hazırlamak için vazgeçilmez bir temel bileşen haline getirir.
Metalurji endüstrisi
Vakum indüksiyon fırınları ve elektrik ark fırınları gibi metalürjik ekipmanlarda, yüksek sıcaklığa dayanıklı yük taşıyıcı çekirdek görevi görür. Yüksek sıcaklıktaki metal sıvılarının muazzam basıncına ve şiddetli termal şokuna dayanabilir. Mükemmel kimyasal inertliği ile yüksek sıcaklıktaki ortamlarda aktif metallerle kimyasal reaksiyonları etkili bir şekilde önleyebilir. Böylece kaynaktan gelen safsızlıkların girişini ortadan kaldırır ve eritilmiş ürünlerin yüksek saflığını ve istikrarlı kalite standartlarını sağlar.
Güneş fotovoltaik endüstrisi
Ayrıca silikon gofret üretiminde yüksek sıcaklıkta difüzyon ve tavlama gibi temel işlem bağlantılarında da kullanabilirsiniz. Grafit suseptör, silikon gofretin hassas desteği ve verimli iletimi rolünü oynar. Kararlı mekanik özellikleri ve termal iletkenlik özellikleri nedeniyle, silikon gofretlerin yüksek sıcaklıkta işleme sırasında deforme olmamasını veya yer değiştirmemesini sağlayarak safsızlık atomlarının homojen difüzyonunu teşvik edebilir. Daha sonra silikon gofretlerin fotoelektrik dönüşüm verimliliğini ve genel üretim verimliliğini önemli ölçüde artırır. Böylece fotovoltaik endüstrisinin maliyetleri düşürmesine ve verimliliği artırmasına yardımcı olur.