Grafiet Susceptor

Voordelen van grafiet susceptoren

Grafiet susceptoren hebben meestal de vorm van schijfvormige, blokvormige of aangepaste onregelmatige structuren en de voordelen zijn zeer prominent.

Uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen

Het kan de structurele stabiliteit behouden zonder vervorming of prestatievermindering in een omgeving met ultrahoge temperaturen van meer dan 1500 °C.

Uitstekende elektromagnetische inductiekenmerken

Het kan snel radiofrequentie- of microgolfenergie absorberen en omzetten in thermische energie, waardoor een efficiënte en gelijkmatige verwarming ontstaat.

Hoge mechanische sterkte

Het is bestand tegen een relatief grote belasting en thermische spanning.

Uiterst stabiele chemische eigenschappen

Het is goed bestand tegen de meeste corrosieve gassen en chemische reagentia.

Hoge warmtegeleidingsefficiëntie

Het kan snel warmteDit zorgt voor een constante temperatuur tijdens het proces.

Kan gemakkelijk mechanisch worden bewerkt en oppervlaktebehandeld

Je kunt de grootte en vorm aanpassen aan verschillende procesvereisten.

Toepassingen van grafiet susceptoren

Productie van halfgeleiders

Bij precisieprocessen zoals chemische dampdepositie (CVD) en fysische dampdepositie (PVD) in de chipfabricage, kunt u het gebruiken als kerndragerplatform voor de wafer. Door de uitstekende hoge thermische geleidbaarheid kan het in milliseconden een uniforme verdeling van de oppervlaktetemperatuur van de wafer bereiken. Zo wordt de consistentie van dunne filmdepositie gewaarborgd. En de hoge chemische stabiliteit is effectief bestand tegen corrosieve gassen en onzuiverheden. Dit vermindert het defectpercentage van chips aanzienlijk en verbetert het rendement en de elektrische prestaties van chipfabricage.

Kristalgroei veld

Grafietsuspensie speelt ook een belangrijke rol in het groeiproces van hoogwaardige kristallen zoals saffier en siliciumcarbide. Het biedt niet alleen stabiele ondersteuning voor de kristallen, maar creëert ook een uniforme en stabiele temperatuuromgeving door middel van nauwkeurige technologie voor thermische veldregeling. Deze controleerbare groeiconditie kan de groeisnelheid, kristaloriëntatie en interne structuur van het kristal nauwkeurig regelen, waardoor dislocatie- en onzuiverheidsdefecten effectief worden verminderd. Hierdoor is het een onmisbare basiscomponent voor het bereiden van grote en hoogwaardige enkelvoudige kristalmaterialen.

Metallurgische industrie

In metallurgische apparatuur zoals vacuüminductieovens en vlamboogovens dient het als dragende kern die bestand is tegen hoge temperaturen. Het is bestand tegen de enorme druk en zware thermische schok van metaalvloeistoffen op hoge temperatuur. Met zijn uitstekende chemische inertie kan het chemische reacties met actieve metalen in omgevingen met hoge temperatuur effectief voorkomen. Het elimineert dus de introductie van onzuiverheden uit de bron en garandeert de hoge zuiverheid en stabiele kwaliteitsnormen van de gesmolten producten.

Fotovoltaïsche zonne-energie

Je kunt het ook gebruiken in de belangrijkste proceskoppelingen, zoals diffusie bij hoge temperatuur en gloeien bij de productie van silicium wafers. Grafiet susceptor speelt de rol van precieze ondersteuning en efficiënte overdracht van de silicium wafer. Dankzij de stabiele mechanische eigenschappen en thermische geleidbaarheid kan het ervoor zorgen dat de siliciumwafers niet vervormen of verschuiven tijdens verwerking bij hoge temperatuur, waardoor de uniforme diffusie van onzuiverheidsatomen wordt bevorderd. Vervolgens verbetert het aanzienlijk de foto-elektrische omzettingsefficiëntie van de siliciumwafers en de algehele productie-efficiëntie. Dit helpt de fotovoltaïsche industrie om de kosten te verlagen en de efficiëntie te verhogen.