Suscepteur en graphite

Avantages du suscepteur en graphite

Le susceptor en graphite se présente généralement sous la forme d'un disque, d'un bloc ou de structures irrégulières personnalisées, et ses avantages sont très importants.

Excellente résistance aux hautes températures

Il peut maintenir la stabilité structurelle sans déformation ni dégradation des performances dans un environnement à ultra-haute température supérieur à 1500°C.

Excellentes caractéristiques d'induction électromagnétique

Il peut absorber rapidement l'énergie des radiofréquences ou des micro-ondes et la convertir en énergie thermique, ce qui permet d'obtenir un chauffage efficace et uniforme.

Résistance mécanique élevée

Il peut supporter une pression de charge et une contrainte thermique relativement importantes.

Propriétés chimiques extrêmement stables

Il présente une bonne résistance à la plupart des gaz corrosifs et des réactifs chimiques.

Efficacité élevée de la conduction thermique

Il permet de transférer rapidement chaleurqui garantit la constance de la température au cours du processus.

Facile à transformer mécaniquement et à traiter en surface

Il est possible d'en personnaliser la taille et la forme en fonction des différentes exigences du processus.

Utilisations du suscepteur en graphite

Domaine de la fabrication de semi-conducteurs

Dans les procédés de précision tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD) dans la fabrication de puces, vous pouvez l'utiliser comme plate-forme de support centrale pour la plaquette de silicium. Grâce à sa conductivité thermique exceptionnellement élevée, il est possible d'obtenir une répartition uniforme de la température de surface de la plaquette en quelques millisecondes. Cela garantit la cohérence du dépôt de couches minces. Sa grande stabilité chimique permet de résister efficacement à l'invasion de gaz corrosifs et d'impuretés. Cela permet de réduire considérablement le taux de défauts des puces et d'améliorer grandement le taux de rendement et les performances électriques de la fabrication des puces.

Champ de croissance des cristaux

Le susceptor en graphite joue également un rôle important dans le processus de croissance des cristaux haut de gamme tels que le saphir et le carbure de silicium. Il fournit non seulement un support stable aux cristaux, mais crée également un environnement de température uniforme et stable grâce à une technologie précise de contrôle du champ thermique. Ces conditions de croissance contrôlables permettent de contrôler avec précision le taux de croissance, l'orientation du cristal et la structure interne du cristal, ce qui réduit efficacement les défauts de dislocation et d'impureté. Cela en fait un composant de base indispensable pour la préparation de matériaux monocristallins de grande taille et de haute qualité.

Industrie métallurgique

Dans les équipements métallurgiques tels que les fours à induction sous vide et les fours à arc électrique, il sert de noyau porteur résistant aux températures élevées. Il peut résister à la pression énorme et au choc thermique sévère des liquides métalliques à haute température. Grâce à son excellente inertie chimique, il peut empêcher efficacement les réactions chimiques avec les métaux actifs dans les environnements à haute température. Il élimine donc l'introduction d'impuretés à la source et garantit une pureté élevée et des normes de qualité stables pour les produits fondus.

Industrie de l'énergie solaire photovoltaïque

Vous pouvez également l'utiliser dans les liens de processus clés tels que la diffusion à haute température et le recuit dans la fabrication des plaquettes de silicium. Le suscepteur en graphite joue le rôle de support précis et de transmission efficace de la plaquette de silicium. Grâce à ses propriétés mécaniques stables et à ses caractéristiques de conductivité thermique, il peut garantir que les plaquettes de silicium ne se déforment pas ou ne se déplacent pas pendant le traitement à haute température, ce qui favorise la diffusion uniforme des atomes d'impureté. L'efficacité de la conversion photoélectrique des plaquettes de silicium et l'efficacité globale de la production s'en trouvent considérablement améliorées. Il aide ainsi l'industrie photovoltaïque à réduire ses coûts et à accroître son efficacité.