Plateau en graphite

Avantages du plateau en graphite

Résistant aux hautes températures

Il peut supporter des températures supérieures à 2800℃ dans un environnement inerte, ce qui permet de s'adapter à des environnements de traitement à très haute température.

Résistance aux chocs thermiques

Il possède un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible, peu susceptible de se fissurer ou de se déformer en cas de refroidissement ou de réchauffement soudain.

Bon stabilité chimique

Résistant aux acides, aux alcalis et aux gaz corrosifs, il ne réagit pas avec la charge et ne présente pas de pollution par les impuretés.

Conduction uniforme de la chaleur

Grâce à sa conductivité thermique élevée et à sa conduction uniforme, il peut assurer un chauffage constant de la pièce à usiner.

Léger et robuste

Sa densité n'est que de 2,2 g/cm³ et sa résistance à la pression est supérieure à 80 MPa, ce qui lui confère une forte capacité de charge.

En outre, en fonction de vos exigences spécifiques, il peut être transformé dans la taille et la forme dont vous avez besoin. En général, les plateaux en graphite présentent une variété de formes telles que plate, rainurée ou perforée.

Utilisations du plateau en graphite

Fabrication de semi-conducteurs

Vous pouvez l'utiliser pour soutenir les substrats dans les équipements de dépôt chimique organique en phase vapeur (MOCVD). Il peut effectuer un dépôt épitaxial dans des conditions de température et de vide élevés et empêcher la contamination par des impuretés, garantissant ainsi la qualité de la couche épitaxiale. Il peut fonctionner de manière stable à des températures élevées (généralement supérieures à 1000℃) sans déformation ni dommage.

Croissance de monocristaux

Dans le monocristal four, vous pouvez le placer sous le creuset en graphite pour garantir la stabilité du creuset. Grâce à son excellente résistance à la corrosion des métaux en fusion et des gaz chimiques, il peut être utilisé pendant longtemps. Il conduit la chaleur de manière homogène, assurant une distribution uniforme de la température dans le creuset et facilitant la croissance de monocristaux de haute qualité.

Industrie chimique

Vous pouvez également l'utiliser dans des réacteurs à haute température pour soutenir et protéger les réactifs, améliorant ainsi l'efficacité de la réaction. Il peut empêcher les réactifs d'entrer en contact direct avec le réacteur et de provoquer des réactions indésirables. En raison de son excellente résistance à la corrosion de diverses substances chimiques, il convient à diverses réactions chimiques.

Fabrication de LED

Dans le processus de fabrication de plaquettes épitaxiales LED, vous pouvez utiliser un plateau en graphite pour soutenir les substrats des plaquettes. Pendant le processus de dépôt épitaxial à haute température, il est utilisé pour supporter les substrats des plaquettes, garantissant une température uniforme sur la surface du substrat. Il peut également supporter le poids des substrats et les contraintes mécaniques pendant le processus. Par ailleurs, la surface lisse et chimiquement stable du graphite ne réagit pas avec les composants. Il protège ainsi efficacement la structure précise et la qualité de la surface des composants.