Cible de pulvérisation de carbone

Cible de pulvérisation de carbone

Cible de pulvérisation de carbone

La cible de pulvérisation de carbone est un matériau cible fonctionnel composé de matériaux de carbone de haute pureté tels que le graphite, les films de diamant, etc. Il s'agit de l'élément central du processus de revêtement par pulvérisation dans la technologie de dépôt physique en phase vapeur, qui présente une excellente conductivité, une grande stabilité et une efficacité de pulvérisation contrôlable. Il peut former des films de carbone uniformes sur les surfaces de substrats tels que les puces, les composants optiques et les outils de coupe revêtus. Il est largement applicable aux exigences de revêtement précises dans les domaines de l'électronique, de l'optique et de la mécanique.

Avantages de la cible de pulvérisation de carbone

Ses formes courantes comprennent des structures irrégulières circulaires, rectangulaires ou personnalisées et ses avantages sont particulièrement importants dans le processus de revêtement.

Excellente stabilité chimique

Il est moins susceptible de réagir avec d'autres éléments dans des conditions de vide poussé et de bombardement de particules à haute énergie. La pureté de la composition du revêtement est ainsi garantie.

 

HUne vitesse de pulvérisation hautement contrôlable

L'épaisseur du film de carbone peut être contrôlée avec précision en ajustant les paramètres du processus pour répondre aux différentes exigences en matière d'épaisseur.

 

Wl'adaptabilité des idées

Vous pouvez le combiner avec différents substrats tels que silicium et des métaux pour former des films de carbone. Les films de carbone présentent des caractéristiques telles qu'une grande dureté, un faible coefficient de frottement ou une excellente conductivité.

 

Large éventail de possibilités de contrôle de la pureté

Vous pouvez préparer des matériaux cibles allant d'une grande pureté (supérieure à 99,99%) à des types dopés en fonction de vos besoins, et ajuster de manière flexible les performances du film de carbone.

 

Durée de vie stable

Dans des conditions d'utilisation standard, la perte de matériau cible est uniforme, ce qui garantit la cohérence de la production de revêtements par lots.

 

Utilisations de la cible de pulvérisation de carbone

Domaine des semi-conducteurs électroniques

Revêtement de la couche d'interconnexion des puces

Vous pouvez utiliser les films de carbone formés par des cibles de pulvérisation de carbone de haute pureté comme barrières de diffusion ou couches conductrices. Leur utilisation pour les couches d'interconnexion métallique dans les puces peut améliorer la conductivité et la stabilité des puces.

 

Préparation de l'électrode du capteur

Vous pouvez l'utiliser à la surface des capteurs de gaz et des biocapteurs pour former des produits très sensibles. électrodesgarantissant ainsi la précision de détection des capteurs.

 

Champ optique

Revêtements antireflets/antiréfracteurs des lentilles optiques

L'utilisation de films de carbone formés par des cibles de pulvérisation de carbone permet d'ajuster la réflectivité et la transmittance optiques des lentilles. Il convient aux composants optiques tels que les objectifs d'appareils photo et les lentilles laser.

 

Revêtement de fenêtre infrarouge

Vous pouvez l'utiliser sur la surface des fenêtres des équipements de détection infrarouge. Il peut améliorer la résistance à l'usure et les performances de transmission des infrarouges des fenêtres.

 

Domaine de la fabrication mécanique

Revêtement d'outils de précision

Vous pouvez utiliser des films DLC formés par pulvérisation de cibles de carbone de type diamant pour recouvrir les surfaces d'outils en alliage dur. Ils peuvent améliorer de manière significative la dureté et la résistance à l'usure des outils et prolonger leur durée de vie.

 

Renforcement de la surface des moules

Vous pouvez déposer des revêtements sur les surfaces des moules d'emboutissage et des moules d'injection pour réduire l'usure. Ils réduisent le coefficient de frottement entre les moules et les pièces à usiner et améliorent l'efficacité de la production des moules.

 

Nouveau champ énergétique

Fuel cell bipolar plate coating

L'efficacité de la production d'énergie et la durée de vie des piles à combustible s'en trouvent ainsi améliorées.

 

Modification des électrodes des piles au lithium

Vous pouvez également l'utiliser sur les surfaces des électrodes positives ou négatives des batteries au lithium. Il améliore la conductivité électronique des électrodes, ce qui accroît l'efficacité de la charge et de la décharge ainsi que la durée de vie des batteries.

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