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碳溅射靶材

碳溅射靶材

碳溅射靶材

碳溅射靶材是由石墨、金刚石膜等高纯度碳材料制成的功能性靶材。它是物理气相沉积技术中溅射镀膜工艺的核心部件,具有优异的导电性、稳定性和可控的溅射效率。它可以在芯片、光学元件和涂层切削工具等基材表面形成均匀的碳膜。它广泛适用于电子、光学和机械领域的精密涂层要求。

碳溅射靶材的优势

其常见形状包括圆形、矩形或定制形状的不规则结构,在涂层工艺中优势尤为突出。

E优异的化学稳定性

在高真空和高能粒子轰击条件下,它不易与其他元素发生反应。从而确保涂层成分的纯度。

 

H溅射速率高度可控

碳膜的厚度可通过调整工艺参数来精确控制,以满足不同的厚度要求。

 

W意识形态适应性

您可以将其与各种基底材料相结合,例如 硅片 和金属形成碳膜。碳膜具有高硬度、低摩擦系数或优异导电性等特点。

 

广泛的纯度控制能力

您可以根据需要制备从高纯度(99.99% 以上)到掺杂类型的目标材料,灵活调整碳膜的性能。

 

稳定的使用寿命

在标准使用条件下,目标材料损耗均匀,确保了批量涂层生产的一致性。

 

碳溅射靶材的用途

电子半导体领域

芯片互连层涂层

您可以使用高纯度碳溅射靶材形成的碳膜作为扩散屏障或导电层。将其用于芯片中的金属互连层可以增强芯片的导电性和稳定性。

 

传感器电极制备

您可以将其用于气体传感器和生物传感器的表面,形成高灵敏度的 电极确保传感器的检测精度。

 

光学领域

光学镜头防反射/防折射涂层

使用碳溅射靶材形成的碳膜可以调整透镜的光学反射率和透射率。它适用于相机镜头和激光镜头等光学元件。

 

红外窗口涂层

可用于红外探测设备的窗户表面。它可以提高窗户的耐磨性和红外线传输性能。

 

机械制造领域

精密工具涂层

您可以使用类金刚石碳靶溅射形成的 DLC 薄膜覆盖硬质合金工具的表面。它可以大大提高工具的硬度和耐磨性,并延长其使用寿命。

 

模具表面强化

您可以在冲压模具和注塑模具的表面沉积涂层,以减少磨损。它可以降低模具与工件之间的摩擦系数,提高模具的生产效率。

 

新能源领域

燃料电池双极板涂层

在金属双极板表面使用它可以增强双极板的耐腐蚀性和导电性。从而提高燃料电池的发电效率和使用寿命。

 

锂电池电极改造

还可用于锂电池正负极材料的表面。它能改善电极的电子导电性,提高电池的充放电效率和循环寿命。

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