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其常见形状包括圆形、矩形或定制形状的不规则结构,在涂层工艺中优势尤为突出。
E优异的化学稳定性
在高真空和高能粒子轰击条件下,它不易与其他元素发生反应。从而确保涂层成分的纯度。
H溅射速率高度可控
碳膜的厚度可通过调整工艺参数来精确控制,以满足不同的厚度要求。
W意识形态适应性
您可以将其与各种基底材料相结合,例如 硅片 和金属形成碳膜。碳膜具有高硬度、低摩擦系数或优异导电性等特点。
广泛的纯度控制能力
您可以根据需要制备从高纯度(99.99% 以上)到掺杂类型的目标材料,灵活调整碳膜的性能。
稳定的使用寿命
在标准使用条件下,目标材料损耗均匀,确保了批量涂层生产的一致性。
芯片互连层涂层
您可以使用高纯度碳溅射靶材形成的碳膜作为扩散屏障或导电层。将其用于芯片中的金属互连层可以增强芯片的导电性和稳定性。
传感器电极制备
您可以将其用于气体传感器和生物传感器的表面,形成高灵敏度的 电极确保传感器的检测精度。
光学镜头防反射/防折射涂层
使用碳溅射靶材形成的碳膜可以调整透镜的光学反射率和透射率。它适用于相机镜头和激光镜头等光学元件。
红外窗口涂层
可用于红外探测设备的窗户表面。它可以提高窗户的耐磨性和红外线传输性能。
精密工具涂层
您可以使用类金刚石碳靶溅射形成的 DLC 薄膜覆盖硬质合金工具的表面。它可以大大提高工具的硬度和耐磨性,并延长其使用寿命。
模具表面强化
您可以在冲压模具和注塑模具的表面沉积涂层,以减少磨损。它可以降低模具与工件之间的摩擦系数,提高模具的生产效率。
燃料电池双极板涂层
在金属双极板表面使用它可以增强双极板的耐腐蚀性和导电性。从而提高燃料电池的发电效率和使用寿命。
锂电池电极改造
还可用于锂电池正负极材料的表面。它能改善电极的电子导电性,提高电池的充放电效率和循环寿命。