Графитовый поднос

Преимущества графитового лотка

Устойчивость к высоким температурам

Он может выдерживать температуру свыше 2800℃ в инертной среде, что позволяет адаптироваться к экстремально высокотемпературным условиям обработки.

Устойчивость к тепловому удару

Он имеет чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения, что исключает возможность растрескивания или деформации при резком охлаждении или нагревании.

Хорошо химическая стабильность

Устойчив к воздействию кислот, щелочей и агрессивных газов, не вступает в реакцию с грузом, не загрязняет окружающую среду примесями.

Равномерная теплопроводность

Благодаря высокой теплопроводности и равномерной проводимости он обеспечивает равномерный нагрев заготовки.

Легкий и прочный

Его плотность составляет всего 2,2 г/см³, а прочность против давления - более 80 МПа, поэтому он обладает высокой несущей способностью.

Кроме того, в зависимости от ваших конкретных требований, он может быть обработан до нужного вам размера и формы. Обычно графитовые лотки имеют различные формы, такие как плоские, рифленые или перфорированные.

Применение графитового лотка

Производство полупроводников

Его можно использовать для поддержки подложек в оборудовании для металлоорганического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD). Она может выполнять эпитаксиальное осаждение при высокой температуре и в условиях высокого вакуума и предотвращать загрязнение примесями, обеспечивая качество эпитаксиального слоя. И он может стабильно работать при высоких температурах (обычно выше 1000℃) без деформации или повреждения.

Рост монокристаллов

В монокристалле печь, вы можете поместить его под графитовый тигель чтобы обеспечить стабильность тигля. Благодаря отличной коррозионной стойкости к расплавленным металлам и химическим газам его можно использовать в течение длительного времени. Он равномерно проводит тепло, обеспечивая равномерное распределение температуры в тигле и способствуя росту высококачественных монокристаллов.

Химическая промышленность

Вы также можете использовать его в высокотемпературных реакторах для поддержки и защиты реактивов, повышая эффективность реакции. Он может предотвратить прямой контакт реактивов с реактором и вызвать негативные реакции. А благодаря отличной коррозионной стойкости к различным химическим веществам он подходит для различных химических реакций.

Производство светодиодов

В процессе производства светодиодных эпитаксиальных пластин можно использовать графитовый лоток для поддержки подложек. В процессе высокотемпературного эпитаксиального осаждения он используется для поддержки подложек, обеспечивая равномерную температуру на поверхности подложки. Кроме того, он может выдерживать вес подложек и механические нагрузки во время процесса. Между тем, благодаря гладкой и химически стабильной поверхности графита, он не вступает в реакцию с компонентами. Таким образом, он эффективно защищает точную структуру и качество поверхности компонентов.