흑연 서셉터

흑연 서셉터의 장점

흑연 서셉터는 일반적으로 디스크 모양, 블록 모양 또는 맞춤형 불규칙한 구조의 형태이며, 그 장점은 매우 두드러집니다.

뛰어난 고온 내구성

1500°C 이상의 초고온 환경에서도 변형이나 성능 저하 없이 구조적 안정성을 유지할 수 있습니다.

뛰어난 전자기 유도 특성

무선 주파수 또는 마이크로파 에너지를 빠르게 흡수하여 열 에너지로 변환하여 효율적이고 균일한 가열을 달성할 수 있습니다.

높은 기계적 강도

비교적 큰 부하 압력과 열 스트레스를 견딜 수 있습니다.

매우 안정적인 화학적 특성

대부분의 부식성 가스 및 화학 시약에 대한 내성이 우수합니다.

높은 열 전도 효율

빠르게 전송할 수 있습니다. 열를 사용하여 프로세스 중 온도 일관성을 보장합니다.

기계 가공 및 표면 처리가 용이함

다양한 프로세스 요구 사항에 따라 크기와 모양을 사용자 지정할 수 있습니다.

흑연 감지기 사용

반도체 제조 분야

화학 기상 증착(CVD) 및 물리적 기상 증착(PVD) 칩 제조에서 웨이퍼의 핵심 캐리어 플랫폼으로 사용할 수 있습니다. 뛰어난 열전도율로 인해 웨이퍼 표면 온도를 밀리초 단위로 균일하게 분포시킬 수 있습니다. 따라서 박막 증착의 일관성을 보장합니다. 또한 화학적 안정성이 높아 부식성 가스 및 불순물의 침입에 효과적으로 저항할 수 있습니다. 따라서 칩의 결함률이 크게 감소하고 칩 제조의 수율과 전기적 성능이 크게 향상됩니다.

결정 성장 분야

흑연 서셉터는 사파이어와 탄화규소와 같은 고급 결정의 성장 과정에서도 중요한 역할을 합니다. 결정을 안정적으로 지지할 뿐만 아니라 정밀한 열장 제어 기술을 통해 균일하고 안정적인 온도 환경을 조성합니다. 이러한 제어 가능한 성장 조건은 결정의 성장 속도, 결정 방향 및 내부 구조를 정밀하게 제어할 수 있어 전위 및 불순물 결함을 효과적으로 줄일 수 있습니다. 따라서 대형 및 고품질 단결정 소재를 제조하는 데 없어서는 안 될 핵심 기본 요소입니다.

야금 산업

진공 유도로 및 전기 아크로와 같은 야금 장비에서 고온 저항성 하중 지지 코어 역할을 합니다. 고온 금속 액체의 엄청난 압력과 심한 열 충격을 견딜 수 있습니다. 화학적 불활성이 뛰어나 고온 환경에서 활성 금속과의 화학 반응을 효과적으로 방지할 수 있습니다. 따라서 불순물의 유입을 원천적으로 차단하고 제련된 제품의 고순도 및 안정적인 품질 기준을 보장합니다.

태양광 발전 산업

또한 실리콘 웨이퍼 제조의 고온 확산 및 어닐링과 같은 주요 공정 링크에서도 사용할 수 있습니다. 흑연 서셉터는 실리콘 웨이퍼를 정밀하게 지지하고 효율적으로 전달하는 역할을 합니다. 안정적인 기계적 특성과 열전도도 특성으로 인해 고온 처리 중에 실리콘 웨이퍼가 변형되거나 변위되지 않도록 보장하여 불순물 원자의 균일 한 확산을 촉진 할 수 있습니다. 그러면 실리콘 웨이퍼의 광전 변환 효율과 전체 생산 효율이 크게 향상됩니다. 이를 통해 태양광 산업이 비용을 절감하고 효율성을 높일 수 있도록 돕습니다.