탄소 스퍼터링 타겟

탄소 스퍼터링 타겟의 장점

일반적인 모양으로는 원형, 직사각형 또는 맞춤형 모양의 불규칙한 구조가 있으며 코팅 공정에서 특히 두드러지는 장점이 있습니다.

E뛰어난 화학적 안정성

고진공 및 고에너지 입자 충격 조건에서 다른 원소와 반응할 가능성이 적습니다. 따라서 코팅 조성물의 순도를 보장합니다.

H고도로 제어 가능한 스퍼터링 속도

탄소 필름의 두께는 다양한 두께 요구 사항을 충족하도록 공정 파라미터를 조정하여 정밀하게 제어할 수 있습니다.

W아이디어 적응성

다음과 같은 다양한 기질과 결합할 수 있습니다. 실리콘 와 금속을 결합하여 탄소 필름을 형성합니다. 탄소 필름은 높은 경도, 낮은 마찰 계수 또는 우수한 전도성과 같은 특성을 가지고 있습니다.

광범위한 순도 제어 기능

필요에 따라 고순도(99.99% 이상)부터 도핑된 타입까지 다양한 타겟 소재를 준비할 수 있으며, 탄소 필름의 성능을 유연하게 조정할 수 있습니다.

안정적인 서비스 수명

표준 사용 조건에서 목표 재료 손실이 균일하여 배치 코팅 생산의 일관성을 보장합니다.

탄소 스퍼터링 타겟의 용도

전자 반도체 분야

칩 인터커넥트 레이어 코팅

고순도 탄소 스퍼터링 타겟으로 형성된 탄소 필름을 확산 장벽 또는 전도성 층으로 사용할 수 있습니다. 칩의 금속 상호 연결 층에 사용하면 칩의 전도성과 안정성을 향상시킬 수 있습니다.

센서 전극 준비

가스 센서 및 바이오 센서의 표면에 사용하여 고감도 표면을 형성할 수 있습니다. 전극를 사용하여 센서의 감지 정확도를 보장합니다.

광학 필드

광학 렌즈 반사 방지/굴절 방지 코팅

카본 스퍼터링 타겟으로 형성된 카본 필름을 사용하면 렌즈의 광학 반사율과 투과율을 조정할 수 있습니다. 카메라 렌즈 및 레이저 렌즈와 같은 광학 부품에 적합합니다.

적외선 윈도우 코팅

적외선 감지 장비의 창문 표면에 사용할 수 있습니다. 창문의 내마모성과 적외선 투과 성능을 향상시킬 수 있습니다.

기계 제조 분야

정밀 공구 코팅

다이아몬드와 같은 탄소 타겟으로 스퍼터링하여 형성된 DLC 필름을 사용하여 단단한 합금 공구의 표면을 덮을 수 있습니다. 공구의 경도와 내마모성을 크게 개선하고 수명을 연장할 수 있습니다.

금형 표면 강화

스탬핑 금형과 사출 금형 표면에 코팅을 입혀 마모를 줄일 수 있습니다. 금형과 작업물 사이의 마찰 계수를 줄이고 금형의 생산 효율을 향상시킵니다.

새로운 에너지 분야

연료전지 양극판 코팅

금속 양극판의 표면에 사용하면 양극판의 내식성과 전도성을 향상시킬 수 있습니다. 따라서 연료전지의 발전 효율과 수명을 향상시킬 수 있습니다.

리튬 배터리 전극 수정

리튬 배터리의 양극 또는 음극 소재 표면에도 사용할 수 있습니다. 전극의 전자 전도도를 향상시켜 배터리의 충전 및 방전 효율과 사이클 수명을 향상시킵니다.